激光测头

激光测头Nano
---玻璃、镜面或潮湿的三维曲面的测量方案
Nano测头提供了特殊曲面，三维视角以及厚度方面的测量，适用物体包括玻璃、透明物体，潮湿表面或者光面物体，相同的硬件结构可以提升精度到几个纳米等级。
应用范围：
能测量下列物体或者感光底层上的物体
 透明镀膜
 潮湿表面
 约翰逊量块
 透明的材料物体
 机加工金属的半扩散面
 高度抛光表面例如抛光硅
 镜子或者类似于镜面表面
性能特点：
 以太网接口
 振动的振幅和频率
 选配视频摄像头，可以根据测量轴向同轴随意选择
 实际测量频率3000HZ，pro版本可以达到15000HZ
 厚度测量 比如玻璃基板的涂胶膜等无色透明的涂膜和玻璃
 剖面或者三维曲面 适用于玻璃、透明材质，或者镜面物体
 灵活的工作范围 6毫米到75毫米的透镜或者X20规格的显微透镜
 与Conoprobe扫描头Mark3系统的硬件接口，操作软件和通讯设置兼容
 超高精度 米到纳米的精度等级取决于所选的透镜 最高精度可达到1微米
 机加工金属半扩散面的测量包含附带的角度到45度，提升到1/3的透镜工作范围
 能够与展望镜、远望镜或者其它的光学传输器材，依照传感器技术的基本同轴向法则下配合工作
配置 Optimet标准透镜 微透镜
物镜焦距 (mm) 16 25 40 75 ×20
工作范围(mm) 0.25 1 2 10 0.065
精度(um) 0.25 1 2 10 0.065
相对精度(um) 0.025 0.1 0.2 1 0.006
与模型间隔(mm) 11 18 42 65 8-20
光斑尺寸(um) 3 5 10 25 1
角度覆盖范围(deg) 8 5 2 1 20
数据处理
最大扫描频率(Hz) 3000 Pro 15000
通讯接口 Ethernet 10/100UDP
信号控制 ROG方式-输出 外部触发器-输入 模拟信号- 5V范围